ABB ha fornito a ST Microelectronics un analizzatore WPA “Wet Process Analyzer” per un controllo rapido e non invasivo delle soluzioni chimiche di processo. E' il primo analizzatore basato su tecnologia FTIR fornito da ABB in Italia per il controllo dei processi manifatturieri dei semiconduttori.
Sesto San Giovanni – Novembre 2007 – ABB, Gruppo leader nelle tecnologie per l’energia e l’automazione, ha fornito a ST Microelectronics un analizzatore WPA “Wet Process Analyzer” per un controllo rapido e non invasivo delle soluzioni chimiche di processo.
La fornitura consiste in un analizzatore FTIR, modello Wet Process Analyzer, dotato di quattro celle ClippIR+ a fibre ottiche, ciascuna dedicata all’analisi di contaminanti presenti nelle soluzioni di alcol isopropilico impiegate nel processo di lavaggio di wafer al silicio prodotti da ST Microelectronics ed utilizzati per la produzione di chip.
La fornitura comprende inoltre le attività di installazione, start-up e training.
L’analizzatore fornito da ABB consentirà a ST Microelectronics di ottimizzare il controllo di processo attraverso analisi chimiche in linea, aumentare la resa manifatturiera di chip al silicio, limitare l’impiego di soluzioni chimiche e ridurre gli scarichi delle stesse, grazie al loro utilizzo su linee di riciclo controllate garantendo così una riduzione dell’impatto sull’ambiente.
Obiettivo principale di ST Microelectronics era quello di poter controllare rapidamente alcune tra le soluzioni chimiche di processo più critiche, applicando una tecnologia non invasiva: ABB ha saputo proporre una soluzione vincente.
Si tratta della prima fornitura di un analizzatore FTIR per il controllo di processi Semicon in Italia e rappresenta un successo per l’unità Analitical & Advanced Solutions di ABB che ha lavorato a stretto contatto dapprima con il centro R&D di ST Microlectronics e successivamente con il reparto produttivo di Agrate Brianza (Milano).
Nel corso del 2006, grazie ad un programma concordato con ABB, ST Microelectronics ha avuto modo di valutare la versatilità, le prestazioni e la funzionalità del WPA nel proprio sito di Agrate, scoprendone immediatamente le enormi potenzialità e l’utilità per il controllo delle contaminazioni in processi critici.
L’analizzatore WPA si è rivelato uno strumento efficace per mantenere i parametri chimici chiave entro le specifiche di processo durante la fase di rimozione di polimeri sui wafer al silicio, i processi di lavaggio e le operazioni di etching selettivo su substrati metallici.
La tecnologia ad infrarossi FTIR e la metodologia di analisi in-linea con la cella ClippIR+, brevettata da ABB, consente di effettuare analisi in scansione delle soluzioni di processo ogni 30 secondi, senza introdurre corpi estranei a contatto con il campione misurato, prelevare alcuna porzione della soluzione da analizzare e dover poi distruggere il campione analizzato. Grazie all’impiego di fibre ottiche, la misura analitica viene effettuata in-situ, senza estrarre il campione e quindi senza rischi di contaminazione .
L’ analizzatore ABB WPA offre caratteristiche uniche:
- è versatile e la semplice sostituzione di un file all’interno del PC di controllo, rende lo stesso hardware riutilizzabile per applicazioni diverse da quelle inizialmente configurate,
- la metodologia di analisi ad infrarossi e con cella di misura non invasiva elimina tutti i problemi di contaminazione presentati dai metodi estrattivi,
- la tecnologia FTIR permette l’analisi multi-componenziale,
- l’ottica sviluppata sugli analizzatori FTIR consente di effettuare analisi in scansione fino ad otto punti di misura diversi con l’impianto di una sola piattaforma,
- l’installazione è rapida, semplice e non richiede operazioni invasive sulla tubazione di processo.
ABB vanta un’esperienza pluriennale sia nella tecnologia ottica degli analizzatori FTIR, sia nell’attività di modellistica chemiometrica, due materie chiave alla base delle elevate prestazioni di precisione e accuratezza degli analizzatori WPA.
STMicroelectronics è leader a livello globale dallo sviluppo alla consegna, nelle soluzioni a semiconduttore per tutta la gamma di applicazioni microelettroniche. Grazie ad un'ineguagliata combinazione di esperienza nel silicio e nei sistemi, grandi capacità manifatturiere, portafoglio di proprietà intellettuale e partner strategici, l’azienda è all’avanguardia nella tecnologia del System-on-Chip (sistema completo su singolo chip) e i suoi prodotti hanno un ruolo essenziale nel rendere possibile l’attuale convergenza di applicazioni e mercati.
ABB (www.abb.com) è leader nelle tecnologie per l’energia e l’automazione che consentono alle utility ed alle industrie di migliorare le loro performance riducendo al contempo l’impatto ambientale. Le società del Gruppo ABB impiegano circa 110.000 dipendenti in oltre 100 Paesi.